调频激光干涉测量

调频激光干涉测量（frequency-modulation laser interferometry），工学-光学工程-激光器与激光技术-激光干涉测量-激光干涉测量技术-外差激光干涉测量-调频激光干涉测量，调频干涉测量是以输出激光光频随时间呈线性变化的激光器作为光源，对激光的输出频率进行调制，以Michelson干涉光路作为测量光路，测量激光经过参考臂和测量臂之间的相对延迟的激光干涉测量系统。调频干涉测量法多以半导体激光器作为光源，按调制性质的不同分为注入电流调制半导体激光器与外腔调制半导体激光器。注入电流调制半导体激光器利用半导体激光器注入电流与输出频率的关系对注入电流进行调制，从而对激光的输出频率进行调制，主要包括三角波调频及锯齿波调频。半导体激光调频测量技术的原理是基于光的传播时间的测量：式中为光的传播时间间隔；为空气折射率；为干涉仪的几何程差；光为真空中的光速。只要能设法精确测出值就可以求出，而且不存在多值问题。经过迈克尔逊干涉光路测量光束和参考光束会合时会产生一个光拍，这个拍的频率随着的增大而增大，通过对光拍频率的测量实现对的测量。