微机电重力梯度仪（micro-electromechanical-systems gravity gradiometer），工学-仪器科学与技术-[地质学专用仪器]-地球重力场观测仪器-[重力梯度仪]，通过基于微制造工艺加工的芯片上集成的惯性敏感机构测量重力在三维空间变化率的精密仪器。随着微机电系统（MEMS）技术的日渐成熟，基于体硅工艺加工的惯性传感芯片可以达到甚至超越基于传统机械加工的惯性仪表的精度，利用MEMS技术实现地球物理勘探等领域应用所需的高精度仪器成为可能。2009年荷兰屯特大学公布了一款在77K低温下理论噪声水平为0.12E·(Hz)-1/2的可用于行星探测的MEMS差分加速度计式重力梯度仪（图1）。2016年英国帝国理工学院公布了一款在常温下理论噪声水平为10E·(Hz)-1/2的MEMS扭力平衡式重力梯度仪（图2），可以承受地球重力加速度用于航空重力梯度测量。图1 MEMS差分加速度计式重力梯度仪示意图图2 扭力平衡式重力梯度仪MEMS重力梯度仪通常包含惯性敏感机构、电容位移传感器和差分电容传感电路。