面发射激光器列阵(surface emitting laser array),工学-光学工程-激光器与激光技术-面发射半导体激光器,面发射激光器中单元器件的排列方式。面发射半导体激光器有源区尺寸小于20μm,发光功率小于100mW的毫瓦级小功率激光器已经商品化。随着外延材料质量的提高和器件工艺技术的发展,输出达到瓦级的大功率面发射半导体激光器开始成为人们研究的热点。为了提高器件的输出功率,一种途径是继续增大器件出光孔径,但由于器件效率随出光孔径增大而减小,绝大部分的电功率转化成热,给继续提高输出功率带来极大的困难;另一种方法是制成二维阵列,这种结构具有结构简单、阵列密度高、功率大、散热方便等优点。阵列均为单元直径和单元间距相等的排列方式,每个单元的环形或圆形光束叠加后在远场形成具有一系列峰值的周期性强度分布。降低功耗、减少器件尺寸来实现低阈值工作的面发射半导体器件,同时提高面发射半导体激光器的功率,实现高的功率密度和高的光束质量逐渐成为人们研究的热点。