金属氧化物传感器（metal-oxide sensor），工学-仪器科学与技术-传感器-［传感器材料］，利用金属氧化物材料的某种敏感特性感测各种物理量和物质成分等信息参数的传感器。敏感元件由金属氧化物制成。20世纪50年代，人们发现表面吸附气体分子会影响金属氧化物半导体的电导率，使其电阻升高或降低。之后人们对其气敏性能进行了广泛的研究，制备出一维（纳米颗粒）、二维（纳米线）Ｗ及Ｈ维分等级结构气体传感器。同时，随着半导体技术的飞速发展，微米纳米技术成为研究热点，金属氧化物的多种特性不断被开发出来，金属氧化物的形貌结构和细分是影响传感器性能的主要因素。在很多领域，尤其是电子产业、半导体工业和国防工业中具有非常重要的作用。