隔膜压缩机膜腔（cavity of diaphragm compressor），工学-工程热物理及动力工程-动力设备与系统-流体机械-容积式压缩机-隔膜压缩机-隔膜压缩机膜腔，由具有穹形型面的缸头和膜片所组成的空腔。膜片周向边缘被紧固在气压缸头和油压缸头之间。当膜片上、下挠曲变形时，膜腔的容积随之变化。隔膜压缩机膜腔分为气腔和油腔。气腔指由气压缸头和膜片所组成的空腔，油腔指由油压缸头和膜片所组成的空腔。气腔内只存在被压缩工质，油腔内只存在液压油。隔膜压缩机膜腔容积一般指气腔和油腔容积之和，即由气压缸头和油压缸头所围成的空腔容积。为了避免在吸气终了时，膜片与油压缸头的穹形型面发生碰撞（一般称之为拍缸现象），造成膜片在油压缸头型面油孔（或油槽）处产生局部的附加应力，导致膜片在运行过程中提前损坏，隔膜压缩机膜腔容积一般设计略大于活塞的行程容积，以保证隔膜压缩机正常运行时，膜片下极限位置不与油压缸头型面相贴合。当排气终了时，膜片与气压缸头贴合，此时膜片在气压缸头型面排气阀孔处将产生无法避免的局部附加应力。但通过膜腔型面设计，可以使膜片在与气压缸头型面贴合时的应力分布更加合理化。