微小孔径测量仪（measuring equipment of diameter of micro and small hole），工学-仪器科学与技术-光学仪器-光学测试仪器，用于测量微孔和小孔孔径的仪器。采用激光测长干涉仪进行测头运动距离测量，采用光纤传感器和电容传感器作为小孔边缘非接触测头。所有设备固定在一个稳定的框架基座中（见图）。工作时，首先调整被测孔轴线与测量仪的Z轴平行，然后移动Y轴，使传感器测头定位到被测孔直径测量线上。测量时，沿X轴移动测头到被测孔的一个端点，传感器在该位置发出瞄准触发序号，激光测长干涉仪清零；然后测头继续移动到被测孔的另一个端点，传感器在此位置发出第二个瞄准触发信号，激光测长干涉仪计数，并根据读数值和传感器测头等效直径计算出小孔直径。仪器的重复性不大于0.2微米，示值误差为±0.8微米。测量仪结构示意图孔径测量仪因测量的孔径个数不同而分为两大类：①利用气动、光学、电感等原理制成的孔径测量仪，可以高精度测量孔径，但是必须在接近20℃的恒温条件下进行，可测量单个的孔径，如工件的内径、管道的内径。②利用气液和液液排出法测量多空材料的孔径分布。