激光光学薄膜(laser coatings),工学-光学工程-材料与器件-光学薄膜-【光学薄膜应用】-激光光学薄膜,衡量被激光辐照的介质的抗激光损伤能力的重要参量是激光损伤阈值,大功率激光照射介质会引起其内部或表面的变形甚至完全损毁。1965年,研究指出薄膜的损伤阈值与膜系的设计及沉积过程中参数的选择有关,对于多层薄膜的损伤阈值由阈值低的膜层决定。1995年,研究报道在激光器谐振腔中镀制氧化锆/氟化镁多层膜,实现激光器反射率由未镀层时的32%提高到了镀层的60%,输出功率比未镀层提高了约40%。2010年,在高反膜最外层添加半波长保护层,使激光损伤阈值提高了60%。2013年,通过光斑峰值重叠率为98.36%的两步预处理将高反膜的损伤阈值提高了81%。2016年,通过改变532纳米、266纳米双波段增透膜的膜系结构,比较低折射率材料占比高低情况下增透膜的损伤阈值大小情况,得到低折射率占比高的增透膜在532纳米损伤阈值较高。作为激光系统中极其重要的部件,由于激光光学薄膜易损伤,一经破坏将会导致整个激光系统无法工作。从而成为限制高功率激光向前发展的一个“瓶颈”。