脉冲等离子体(pulsed plasma),工学-电气工程-﹝电工新技术﹞-放电等离子体-﹝等离子体驱动形式﹞-脉冲等离子体,由脉冲高压电源激励气体放电产生的等离子体。与传统的直流等离子体、交流等离子体相比,脉冲等离子体具有更高的约化场强和更陡的上升沿,这导致脉冲等离子体中产生高能电子(逃逸电子),高能电子能够快速电离气体,使得流注发展时间小于流注理论中的光电离时间,有效抑制放电向火花或者弧光模式转变,从而获得均匀、稳定的放电。快速电离导致脉冲等离子体处于更高的非热力平衡态,电子温度高,高温电子能够激发更多离子、激发态的原子和分子及自由基等活性粒子,使得脉冲等离子体具有更高的化学活性;气体温度更低,使得脉冲等离子体能量利用效率更高。脉冲等离子体有多种放电形式,如弥散放电(又称脉冲电晕放电或脉冲流注放电)、脉冲介质阻挡放电和脉冲等离子体射流等。脉冲等离子体的研究起步较晚,研究主要集中在不同形式脉冲等离子体的放电特性和影响因素(如脉冲参数、温度、气体和电极等)上,未来将进一步探索脉冲等离子体的产生机制、调控方法以及大面积均匀放电的产生方法。