光学薄膜散射（optical thin film scattering），工学-光学工程-材料与器件-光学薄膜-光学薄膜表征-光学薄膜散射，介质中的带电粒子在入射光的激发下做受迫振动，发出电磁波。散射是当入射光通过光学性质不均匀的物质时，从介质中发出的次波在其他方向不能完全抵消，可以向任意方向传播。对于均匀介质，通过次波之间、次波和入射光之间的干涉相消，消除了遵循几何光学规律的光线外的多余光，即不产生散射。薄膜元件中的散射损耗一般比较小，但在一些膜系中，散射损耗对薄膜质量起着重要作用。例如在氦-氖激光器高反射镜中，总的损耗为0.3%～0.7%，其中吸收损耗为0.02%～0.05%，而散射损耗约为0.25%。在大功率激光系统中，光线经历一系列的放大，如果光学元件有少量背散射光产生，就会破坏光泵的功能而引起危险。光学薄膜中的散射分为两类：①体内散射，薄膜内部结构的不完善，导致内部折射率不均匀，所以产生散射。②表面散射，由表面粗糙程度引起的，如表面的气泡、裂缝、划痕，均会引起散射。