矿物扩散蠕变（mineral diffusion creep），理学-地质学/地质资源与地质工程-构造地质学-显微构造地质-变形机制-矿物扩散蠕变，通过晶内和晶界的空位运动和原子运动改变晶粒形状的塑性变形机制。矿物扩散蠕变是固态扩散物质迁移的基本形式。矿物扩散蠕变又分为晶界扩散蠕变和体积扩散蠕变。晶界扩散蠕变是空穴沿着颗粒边界迁移，又称柯勃尔蠕变；体积扩散蠕变则是空穴穿越晶格进行迁移，又称纳巴罗-赫林蠕变。这两种扩散物质迁移都没有流体的参与。晶粒边界的缺陷要发生扩散所需的激活能只等于晶格扩散激活能的一半，因而在较低的温度范围内，尤其在流体溶液存在的条件下，晶粒边界扩散蠕变具有较为重要的意义。低温条件下的固体扩散非常有限，当变形岩石的变形温度较高时，矿物可以仅仅通过空穴沿着晶格发生迁移而变形，这一过程就是高温固态物质迁移，是一种高温塑性流动的重要机制。