超光滑反射镜（ultra-smooth mirror），工学-光学工程-光学传输-紫外光学-[紫外-极紫外光学单元技术]-光学元件-超光滑反射镜，表面粗糙度在1nm以下的反射镜。在紫外-极紫外波段，由于工作波长短，光线在反射镜表面产生更严重的散射和衍射。因此，在该波段的光学仪器中，需要使用超光滑表面反射镜，减少表面散射和衍射造成的表面能量损失。表面粗糙度对反射率的影响与波长成反比，与表面粗糙度成正比，具体按照德拜-沃勒因子关系对散射产生影响，公式为：随着工作波段波长变化，系统对光学表面的要求也在变化，通常的光学表面采用面形和表面粗糙度来描述。但是，在紫外和极紫外波段，随着波段变化，不同频率范围的粗糙度的影响也在变化。按照哈维-夏克（Harvey-Shack）理论，不同频率范围对成像质量和反射率的影响不同。