硅压阻气压表

硅压阻气压表（silicon piezoresistive barometer），理学-大气科学-大气探测-地面气象观测-气压表，采用电容式硅单晶空盒作为气压感应元件的气压测量仪器。在浅玻璃容器上安装硅单晶薄膜，玻璃容器底部与硅单晶薄膜下表面真空喷镀金属薄膜，形成一对电容极板。硅单晶薄膜上方放置硅单晶腔体，腔体内抽成真空。玻璃腔体与大气相通，通过测量电容量推算气压。