真空微放电（vacuum microdischarge），工学-航空宇航科学与技术-航天-航天综合电子技术-航天微机电-真空微放电，在真空条件（通常是指在1×10-3帕或更低压强下），自由电子在外加高频电磁场的加速下，在两个金属表面间或单个介质表面上激发的二次电子发射。又称二次电子倍增放电。是一种真空谐振放电现象。真空微放电现象是导致空间微波链路失效的重要原因之一。真空微放电发生的主要条件包括四个方面：①真空环境。真空微放电发生的必要条件是电子的平均自由程必须大于两个表面之间的间隙距离，使得电子在两平板间加速且具有很小的概率和周围的原子或分子碰撞。通常在不大于1×10-3帕的气压下，电子的平均自由程为10-1米量级，可以发生真空微放电。②自由电子的存在。真空微放电的产生必须有自由电子的激发。例如，在空间环境下存在着很多自由电子源，可以达到较大的电子浓度，其中包括太阳风和范艾伦辐射带等。③材料或介质的二次电子发射系数大于1。④二次电子的渡越时间是微波信号半周期的奇数倍。典型的真空微放电现象有两种：①金属谐振结构中的双表面次级电子倍增。