严格耦合波分析(RCWA，Rigorous Coupled Wave Analysis)是一种直接有效的电磁场理论，它在光栅区域严格的求解麦克斯韦方程，将麦克斯韦方程的求解问题化为一个求解特征函数的问题，得到光栅区域由特征函数耦合起来的电磁场表达式，然后在光栅区域与其它区域交界面上求解边界条件得到最终衍射效率的值。这种方法一直广泛的使用在各种形状光栅的分析设计中。严格耦合波理论是没有近似的严格方法，将介质光栅当作周期调制的平面波导处理，通过Maxwell方程组和边界条件进行求解波导模式的本征方程。