电子能量损失谱 (EELS) 是测量电子在与样品相互作用后的动能变化的一系列技术。该技术用于确定样品的原子结构和化学特性，包括:元素的种类及数量、元素的化学状态以及元素与近邻原子的集体相互作用。部分技术包括:光谱、能量过滤透射电子显微术 (EFTEM) 和DualEELS定义电子能量损失谱分析简称EELS(Electron Energy Loss Spectroscopy)是利用入射电子束在试样中发生非弹性散射，电子损失的能量DE直接反映了发生散射的机制、试样的化学组成以及厚度等信息，因而能够对薄试样微区的元素组成、化学键及电子结构等进行分析。当电子穿过样品时，它们会与固体中的原子相互作用。许多电子在穿过薄样品时不会损失能量。一部分在与原子相互作用时会发生非弹性散射并损失能量。这会让样品处于激发态。材料可通过分析通常以可见光子、X 射线或俄歇电子形式存在的能量实现去激发。入射电子与样品相互作用时，能量和动量都会发生改变。您可以在分光计中检测到此类散射入射电子，因为它会发出电子能量损失信号。样品电子(或集体激发)会带走额外的能量和动量。当紧密结合的芯电子被入射电子激发为高能量状态