油扩散泵

（计算机概念）

油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4~10-5帕，工作压力范围为10-1~10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒(1升=10-3米3)。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。oil diffusion pump