固态反应是指不同金属或化合物通过固态互扩散反应的过程。主要用于制备非晶态薄膜或非晶粉末。由于此法形成非晶态不需要从熔体急冷，从理论上讲，成品不受尺寸限制，可以制成大块非晶体。非晶体的形成是在远低于熔点温度下进行的，整个反应过程只涉及固相。固态反应非晶化研究始于1981年。1983年由R.B.施瓦茨(Schwarz)等人在研究金翎(Au-La)多层膜时发现Au-La扩散偶在125℃以下退火产物为非晶。同年C.C.科克(Koek)等人用机械合金化法将Ni6、Nb4、金属粉末制成非晶质。固态反应非晶化的基本条件是:实验开始的亚稳晶态相与相应的非晶态相比，具有较高的自由能 。