微纳制造

微纳制造（micronano manufacturing），工学-材料科学与工程-纳米材料-纳米技术，设计并制造具有微米至纳米量级精度或特征尺寸的特定功能器件或系统的技术。基于微电子制造工艺和传统超精密加工方法的微纳制造，已成为衡量国家制造水平的标志。其研究内容涉及微纳器件与系统的设计与器件原理、微纳及其跨尺度加工、操作、测试与表征、封装与装备等。利用微纳制造，可以批量化地制造微纳结构、微纳传感器、微纳执行器以及微机电系统（MEMS）、纳机电系统（NEMS）等。微纳制造可分为集成电路兼容制造和非集成电路兼容制造。硅材料具有优异电学特性、良好的机械特性，以及拥有集成电路工业基础设施支撑，是集成电路兼容微纳制造的主流材料。非集成电路兼容微纳制造，可以满足不同材料和结构的制造需要以及特定应用环境的需求。具体包括微制造和纳米制造。微制造主要是指微机电系统微加工和机械微加工的制造。纳米制造是指构建适用于跨尺度集成的、可提供具有特定功能的产品和服务的纳米尺度（一维、二维和三维）的结构、特征、器件和系统。包括纳米压印、离子束刻蚀、电子束直写刻蚀、自组装等“自上而下”和“自下而上”的制造方法。