热反射法（thermoreflectometry），工学-工程热物理及动力工程-工程热物理-传热传质学-测试方法与技术-热导率测量，基于部分材料光学反射率随温度变化的依赖特性，采用一束激光加热样品，测量另一束探测激光经样品反射的反射光信号强度以探测样品表面温度变化，并根据理论模型获取样品热物理性质的一种测量方法。热反射法是一种非接触、无损的测量方法，可达到极高的时间分辨率和空间分辨率，可用于测量块体材料、基体表面的单/多层薄膜复合结构和液体等样品的热物理性质，尤其在测量纳米薄膜热导率、界面热阻和材料中电子、声子等载能子超快相互作用过程时具有独特优势。当被测材料的光学反射率随温度变化特性未知或不满足线性关系时，可在样品表面沉积数十纳米的传感器层，如铝、金等。根据加热激光和探测激光的种类，热反射法分为瞬态光热反射法和调制光热反射法。瞬态光热反射法的典型光路系统如图1。脉冲激光器产生的脉冲激光经分光镜分为加热光和探测光。加热激光脉冲经调制器调制后加热样品。探测脉冲通过位移平台在精确设定的时间延迟后到达样品表面探测热反射率，由此获得被测样品表面温度的实时变化。