纳米薄膜(nanofilm),工学-材料科学与工程-纳米材料,由尺寸为纳米量级(0~100纳米)的颗粒或晶粒构成的薄膜,或将纳米晶粒镶嵌于基体所构成的复合薄膜,以及纳米量级厚度单层或多层薄膜。兼具传统复合材料和现代纳米材料的优越性。纳米薄膜有不同的种类。①按用途分为纳米功能薄膜和纳米结构薄膜。纳米功能薄膜是利用纳米粒子所具有的力、热、电、光、磁等方面的特性,复合制备出具备特定功能特性的薄膜,如纳米磁性薄膜、纳米光学薄膜、纳米气敏薄膜、纳米多孔膜、纳米导电膜等。纳米结构薄膜是通过纳米粒子复合来对材料进行改性,可以改善薄膜的机械性能。②按层数分为纳米单层薄膜和纳米多层薄膜。组成纳米单层薄膜或纳米多层薄膜的材料可以是金属、半导体、绝缘体、有机高分子等,也可以如金属/半导体、金属/绝缘体、半导体/有机高分子等组合,而每种组合都能够衍生出众多类型的复合薄膜。③按材料成分分为金属薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、无机薄膜、有机薄膜和复合薄膜等。纳米薄膜的研究方向已从单一材料的纳米薄膜转向纳米复合薄膜,薄膜的厚度也由数微米发展到数纳米的超薄膜,拓宽了纳米薄膜的应用领域。