非晶碳膜

非晶碳膜（amorphous carbon film），工学-核技术-工业核技术，非晶态结构的碳材料形成的薄膜。其微观结构是碳原子以sp2，sp3和sp键随机组合而成，非晶碳膜中sp3键合成的成分越高，性能越像金刚石。非晶碳膜可以分为含氢非晶碳膜和无氢非晶碳膜。含氢非晶碳膜多采用等离子体化学气相沉积方法在含碳和氢的气氛下合成；而无氢非晶碳膜多采用石墨为碳源，以物理气相沉积方法制备。下图是非晶碳膜的种类图。