最佳曝光量

最佳曝光量是光学名词。最佳曝光能量（Best exposure energy）给定厚度抗蚀剂曝光显影后，可精确复制光学掩模版图形尺寸所必需的光化学辐照(能够产生光化学反应的电磁辐射)的总累积能量，能量的单位以每crnz所需能量计。