薄膜厚度测定仪，用于量程范围内的塑料薄膜、薄片等各种材料的厚度精确测量，精度高，能够保证结果的准确性和合理性。 薄膜厚度刚量是VLSI生产工艺中不可缺少的重要工序 也是保证产品质量提高生产效率的重要手段。采用显微镜一全息凹面光栅一CCD一微机处理的浏量系统具有结构简单工作可靠的特点。本文介绍了其原理与特点 并对该系统进行了实验 实验结果表明 对于较薄的膜层测量精度为士 对于一般膜基本介绍 薄膜厚度刚量是VLSI生产工艺中不可缺少的重要工序, 也是保证产品质量提高生产效率的重要手段。采用显微镜一全息凹面光栅一CCD一微机处理的浏量系统具有结构简单工作可靠的特点。本文介绍了其原理与特点, 并对该系统进行了实验, 实验结果表明, 对于较薄的膜层测量精度为士, 对于一般膜层为被测膜层厚度的2%到5%。 出现背景 随着微电子技术的进步, 集成电路的集成度不断提高, 其线条也越来越微细化, 因此在生产工艺中对各种参数提出了严格的要求。膜层厚度是其中的重要参数之一。由于制做过程中需要制作各种膜层, 如、、正胶、负胶、聚酞亚胺等, 而每种膜层厚度的任何微小变化, 对集成电路的性能都会产生直接的影响, 因此在生产过程中对各种膜层的厚度进行在线的检测, 控制生产工艺, 是提高产品质量和生产效率的重要手段。 发展方向 目前膜厚测量仪种类较多而且向着高精度自动化方向发展, 可实现微区测量。测量方案都是基于分光计原理, 其方案有两类,一类是利用分光计产生不同的单色光照射在被测表面反射后干涉光波被光电倍增管接收, 经光电转换后由微机处理, 如美国山、德国、日本等另一类是采用白光照明反射后光由凹面光栅分解成不同的光谱被接收后由微机对光谱进行分析, 如日本入夕又州、中国清华大学等。尽管方案不同但其精度都在被测膜 4 产品用途 薄膜厚度测定仪适用于４mm以下的各种薄膜、纸张、纸板以及其他片状材料厚度的测量