量子化学方法可提供与CVD过程有关的热力学和动力学数据,这些数据如果用其他方法会耗费很长时间,甚至可能无法获得。这些数据可以成为进行CVD设备过程模拟的基础。德国Siemens公司用ACCELRYS软件研究SiGe异质外延结构的热化学与动力学性质。介绍热化学反应包括高岭土的脱羟与反应与煤的燃烧反应。利用程序升温热分析法得到几种煤系高岭土样品的TG/DTG谱图,由Freeman-Carroll法计算出煤系高岭土势化学反应的动力学参数。将文章收藏到好诶关键词:煤系高岭土热...量子化学方法可提供与CVD过程有关的热力学和动力学数据,这些数据如果用其他方法会耗费很长时间,甚至可能无法获得。这些数据可以成为进行CVD设备过程模拟的基础。德国Siemens公司用ACCELRYS软件研究SiGe异质外延结构的热化学与动力学性质。实验...作者简介陈荣悌化学家。四川省垫江县人。1941年毕业于四川大学化学系。1944年毕业于武汉大学研究生院。1952年获美国印第安那大学博士学位。曾任美国西北大学和芝加哥大学研究员;1954年起任南开大学化学系教授及暨南大学、四川大