气相腐蚀是指（Vapor corrosion）MCVD法制造坯棒过程中，通过局部加热和氟气的腐蚀使坯棒具有异形结构的技术。常用于制造领结型偏振光纤。工艺程序一般为：一根石英基管装在车床上，用常规MCVD工艺沉积折射率与二氧化硅玻璃匹配的低掺杂F和P2O5的包层材料，接着沉积高掺杂的硼硅酸盐玻璃。车床停止旋转，在管子两侧对称地装上灯头，此灯头沿管子周围提供局部加热，当两热源沿管子平行连续移动时通入一种释放氟气的原料，例如氮稀释的SF6，灯头往返数次直到在硼硅酸盐玻璃层中腐蚀出两条相对的凹槽，再使管子旋转，沉积包层和掺GeO2的二氧化硅芯层，收棒时管子内保持弱正压以保证芯的圆度。