去胶机

去胶机是一种用于物理学、电子与通信技术领域的计量仪器，于2017年6月29日启用。去除光刻胶类型：SU8等；最大速率1um/min；工艺压强1~100Pa；频率2.45GHz；功率1.2kW；温控范围20~80摄氏度。