探针台

主要应用于半导体器件，MEMS，超导材料（零电阻测量技术），纳米材料精密测量（超高电阻和微弱电流测量），先进半导体和纳米材料测量（霍尔系数和微弱电流等），纳米电子器件（器件I-V性能，脉冲测量能力），先进显示器件TFT液晶，先进微电子器件和微机电系统的测试，也可以进行学生在纳米材料制备和器件基本内容 探针台主要应用于半导体行业[1]以及光电行业的测试。 目前在中国地区被广泛使用的品牌是：台湾宜准ADVANCED，它以性价比高著称而深受业界好评。 此外，美国Cascade 和德国 Karl SuSS, 作为较高端的产品其价格也相对较高而未能在国内获得较大响应。 探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动 从功能上来区分有：高温探针台，低温探针台，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台 经济手动型 chuck尺寸100mm X,Y移动行程100mm chuck Z轴方向升降10mm（选项） 搭配AEC实体显微镜 针座摆放个数2～4颗 适用领域：4寸Wafer，如晶圆厂、LED、学术单位等 手动型 chuck尺寸800mm/600mm X,Y电动移动行程200mm/150mm chuck粗调升降9mm，微调升降16mm 可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜 针座摆放个数6～8颗 显微镜X-Y-Z移动范围2'x2'x2' 可搭配Probe card测试 适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品 电动型 chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金） X,Y电动移动行程300mm x 300mm chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u 可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜 针座摆放个数8～12颗 显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“ 材质：花岗岩台面+不锈钢 可搭配Probe card测