2023上海国际光刻设备与光掩膜技术展览会Shanghai Photolithography Equipment and Mask Technology Exhibition基本信息时间:2023年11月22-24日地点:上海新国际博览中心 展会简介 微电子技术的发展一直是光刻设备和技术变革的动力,21世纪光刻技术将继续居于诸多技术之首。光刻技术从诞生以来,在半导体加工制造行业中,作为图形转移技术而广为应用。随着芯片集成度的不断提高、器件尺寸的不断缩小以及器件功能的不断提高,半导体加工技术中最为关键的光刻技术和光刻工艺设备,必将发生显著的变化。随着集成电路产业