激光干涉小角度测量（laser interferometry measurement of low angle），工学-光学工程-光学应用-光学测量-几何量测量-孔径测量，以激光为光源，激光波长或激光频率为基准，利用光的干涉原理进行角度测量的方法。角度可通过三角函数关系表示为长度之比。在激光干涉过程中，长度的变化引起干涉条纹明暗交替变化，且激光干涉长度测量的准确度较高，因此激光干涉法在角度测量中得到了广泛应用。激光干涉测角基本原理是激光器发出的激光经分光镜后变为两束。投射光束经参考镜反射后形成参考光束；反射光束为测量光束射向角锥棱镜，经反射镜反射后沿原路返回至分光镜，与参考光束汇合产生干涉（见图1）。角锥棱镜从位置Ⅰ移动到位置Ⅱ处，测量光束产生的光程差为，则被测角度为：(1)式中为干涉条纹明暗交替变化的数目；为激光光波的中心波长。图1 激光干涉测角原理示意图利用激光干涉小角度测量原理可以制成激光干涉小角度测量仪，测量光路中激光器发出的光经分光棱镜后分成两路光束。一路反射射向正弦臂一端的直角棱镜；一路先透射，然后经反射镜反射，射向正弦臂另一端的直角棱镜。直角棱镜与正弦臂绕转轴同步旋转。