X射线微束聚焦系统

X射线微束聚焦系统（X-ray microbeam focusing system），工学-光学工程-光学应用-X射线光学-X射线光学系统，通过对X射线辐射进行会聚或聚焦，形成X射线探测微束的X射线光学系统。X射线分析技术（主要包括X射线散射、X射线荧光、X射线光电子能谱等）的优越性在于照射在被测样品上的高X射线束流密度。要以高X射线束流密度对观测对象进行探测和分析，首先需要获得X射线聚焦微束。X射线微束聚焦系统是实现高质量X射线聚焦微束的X射线光学系统。X射线微束聚焦系统主要分为两类，①采用X射线毛细管器件、X射线光波导作为会聚X射线辐射的X射线光学器件，结合X射线光管或同步辐射光源作为X射线发生器，构成X射线光学系统。此类X射线微束聚焦系统主要应用于X射线荧光分析技术中。能够对X射线束进行会聚，但会聚X射线束不满足等光程条件，也不满足相干聚焦条件，因此不能用于X射线成像。②采用X射线波带片、X射线器件、X射线组合折射透镜作为X射线聚焦器件，X射线束聚焦在焦点处的等光程或光程差是波长的整数倍，满足相干聚焦条件，既能用于X射线聚焦，也能用于X射线成像。