微机电惯性传感器（MEMS inertial sensor），工学-航空宇航科学与技术-航空-航空电子-〔导航〕-惯性导航系统-惯性测量单元，采用微机电（MEMS）技术加工的一类惯性传感器，是MEMS器件的重要分支。微机电惯性传感器包括MEMS加速度计和MEMS陀螺仪两大类，主要用于检测和测量载体的加速度和角速度等运动信息。微机电惯性传感器主要采用半导体工艺技术，适合大批量生产，具有体积小、重量轻、价格低、可靠性高及易于集成等特点。微机电惯性传感器通常由三部分组成：包括质量块、弹性梁、支撑结构等构成的敏感结构和驱动结构；驱动和检测放大电路；集成封装结构。可将作用于飞行器的加速度或角速度信息转变为质量块位移或应力、应变等物理量，由敏感结构识别并转换为电信号输出。MEMS加速度计按照惯性检测质量的运动方式分为线加速度计和摆式加速度计，按敏感信号方式分为电容式加速度计、半导体压阻式加速度计、压电式加速度计、谐振式加速度计和隧道电流式加速度计等。MEMS陀螺仪属于振动陀螺（VG），基本工作原理是利用科氏效应，使陀螺结构的驱动和检测两个振动模态之间产生能量转换，用于测量飞行器的角速度。