激光等离子体光源（laser-produced plasma light source），工学-光学工程-光学传输-紫外光学-紫外-极紫外光学系统检测与定标-紫外-极紫外单元技术-光源，高亮度、宽谱段的紫外-极紫外光源。由高功率密度的脉冲激光照射靶材，产生高温等离子体，高温等离子体激发工作原子或离子形成高激发态，高激发态粒子再向低能级跃迁过程中产生紫外-极紫外辐射。常用的激光等离子体（LPP）光源有固体靶、液体靶和气体喷射靶LPP光源，其中的固体靶光源常采用高原子序数的靶材料，例如铜、钨、铁等不同材料作为靶材。光源工作时，将聚焦后的高能量密度激光聚焦到固体靶上，产生高温等离子体，辐射出紫外-极紫外波段光子。一般使用这些材料的原子序数大，不易产生碎片污染，产生的光谱辐射主要是连续谱，光谱覆盖范围广，应用广泛。而较轻原子序数固体靶LPP光源，通常作为线谱光源，在特定线谱处有很强的辐射，这种光源用于特定波长要求应用。