等离子体箍缩光源（plasma pinch light source），工学-光学工程-光学传输-紫外光学-紫外-极紫外光学系统检测与定标-紫外-极紫外单元技术-光源，由等离子体箍缩气体放电形成的一种大电流、脉冲、气体放电光源。光源工作时，先将工作气体抽至辉光放电状态，加高压产生辉光放电。再将大电流、短脉冲的供电电源加到电极两端。此时，短脉冲产生很强的磁场，使得辉光放电产生的等离子体层被强大的磁场箍缩到特定的区域，形成高温、大电流、高密度的等离子体，产生极强的脉冲光辐射。这种光源工作时产生的亮度光辐射可达1020光子/s/cm2/str，可以作为光刻光源、标准光源和照明光源。