低气压等离子体（low-pressure plasma），工学-电气工程-﹝电工新技术﹞-放电等离子体-﹝等离子体分类﹞-非平衡态等离子体，在低于周边大气压强的气体环境中产生的非平衡态等离子体。气压范围一般为几帕斯卡到稍低于周边大气压强。低气压等离子体一般在密闭真空腔室中产生，通过真空设备产生并维持低气压放电环境。低气压等离子体中气体压强低，各粒子间碰撞概率小，电子和离子复合率低，电离率较高，因此所需放电功率较低，易于维持放电，易产生大面积、均匀等离子体。在低气压条件下，等离子体中电子和带电离子具有较大平均自由程，因此其可在电场中加速获得较高能量。在低气压等离子体中，电子与离子碰撞较少，且电子与离子的质量相差很大，因此两者之间不易通过碰撞交换能量达到热力学平衡态，较易产生电子温度很高、气体温度较低、面积很大、均匀的非平衡态等离子体。一般低气压等离子体中电子温度高于离子及中性粒子温度10～100倍。低气压等离子体放电原理是基于汤生过程，在放电区域气压小于1000帕斯卡时放电形式主要为辉光放电，一般放电模式为射频放电、微波放电、直流放电、交流放电和脉冲放电等。