聚焦离子束技术（focused ion beam technology; FIB），工学-核技术-〔纳米科学中核技术〕，利用电透镜将离子束聚焦成微米尺寸的束斑轰击材料表面，实施显微切割和加工，进而实现材料的剥离、沉积、注入和改性的一种技术。已经投入商用系统的离子束为液相金属离子源，金属材质为镓，因为镓元素具有低熔点、低蒸气压及良好的抗氧化力；典型的聚焦离子束包括液相金属离子源、电透镜、扫描电极、二次粒子侦测器、5～6轴向移动的试片基座、真空系统、抗振动和磁场的装置、电子控制面板和计算机等硬设备。