几何指标评价（geometric index evaluation），工学-光学工程-光学应用-光学测量-自由曲面测量-加工性能评价，光学自由曲面表面形貌的特征指标。几何指标评价主要分为3类：①表面粗糙度。加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度，反映被加工件的表面质量。②表面波纹度。间距大于表面粗糙度但小于面形误差的表面几何不平度，直接影响零件表面的机械性能。如零件的接触刚度、疲劳强度、结合强度、耐磨性、抗振稳定性和密封性等。③面形误差。测量点列与设计表面之间的误差，反映加工件的形状精度。对待测面进行几何指标评价时，将表面粗糙度、面形误差和表面波纹度进行分离，通常采用滤波方法对测量数据进行处理。他们的传输特性相同，截止波长不同。当对测量结果进行分解时，滤波的优点是不需要将面型作为具体的波形，只需要对测量接收的信息进行分析。在频域上表面粗糙度是高频带误差。其形成与加工时刀具和工件之间的高频振动、刀具及工件的材料特性、刀具切削深度与进给量，以及刀具的几何形状等因素有关。形状误差是低频带误差。其形成与加工时的进给误差等因素有关。波纹度是中频带误差。