直流等离子体

直流等离子体（direct current plasma），工学-电气工程-﹝电工新技术﹞-放电等离子体-﹝等离子体驱动形式﹞，由直流高压电源激励气体放电产生的等离子体。直流等离子体的产生包括电源、工作气体和反应器3个部分。常见的工作气体包括稀有气体（氦气、氖气和氩气等）、氧气、氮气、甲烷等纯气体以及它们的混合气体。常见的大气压直流等离子体放电形式包括直流电晕放电、直流火花放电和直流电弧放电等。典型的低气压直流等离子可按放电形式分为暗放电、辉光放电和电弧放电（见图）。①暗放电，又称汤生放电，主要是非自持放电，包括的外部光源和电子碰撞两个阶段。当碰撞电离和阳离子撞击阴极产生的电子与阴极吸收电子相当时，气体间隙发生击穿，此时放电不依赖外部光源，称为自持放电。②辉光放电，有亚正常辉光和反常辉光两个过渡阶段，放电的整个通道由不同亮度的区间组成，由阴极开始分别是阿斯通暗区、阴极光层、阴极暗区（克鲁克斯暗区）、负辉光区、法拉第暗区、正柱区、阳极暗区、阳极光层。如果在极不均匀电场中，电极附近出现局部强电离的现象称为电晕放电。