光学漂移误差(optical drift error),工学-光学工程-激光器与激光技术-激光干涉测量-激光干涉测量原理误差-光学漂移误差,光学热漂移是指在激光干涉测量过程中,由于光学玻璃温度的变化,测量光、参考光在玻璃板中的光程漂移不相同,从而引起的测量结果的漂移。这个误差项在多数研究中都没有得到足够重视,但实际上在一些测量场合它的影响是不可忽略的。从本质上看,干涉镜组光学热漂移的根本原因包括激光干涉测量系统在光路设计时未能保证测量光和参考光在玻璃里面的光程对等、光学镜组内部温度场分布不均匀、光学镜组内部材料均匀性不足等。因此,消除光学热漂移的方法主要有:保证测量光和参考光在干涉镜组里面的光程对等,提高光学镜组内部温度场分布均匀性,提高光学镜组内部材料均匀性,提高环境温度的稳定性和均匀性。图是Agilent公司几种干涉镜组的光学热漂移对比数据。在24小时内环境温度漂移约为3.5℃,未经严格对称设计的普通干涉镜组的光学热漂移高达1.4μm,而优化设计后的高稳定性干涉镜组其热漂移小于0.01μm。