微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积

微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积，一级应用学科:材料科学技术，二级应用学科:材料科学技术基础。中文名称微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积定 义将电场与磁场结合运用，使电场的频率与电子在磁场中的回旋的频率相匹配，即电子回旋共振方法产生等离子体的化学气相沉积方法。应用学科材料科学技术(一级学科)，材料科学技术基础(二级学科)，材料合成、制备与加工(三级学科)，薄膜制备技术(四级学科)