纳米计量（nanometrology），工学-材料科学与工程-纳米材料-纳米技术，在纳米尺度范围内，通过不间断溯源链实现测量结果与计量基准/标准装置或计量标准物质相联系，实现单位统一、量值准确的技术。纳米计量是纳米尺度上的计量学。纳米计量基准/标准装置依据计量单位定义建立，具有最高测量能力，良好的复现性、长期稳定性，量值可以传递；纳米计量标准物质由计量基准/标准装置定值，量值准确、稳定、可传递，用以校准测量仪器、评价测量分析方法；纳米尺度的测量仪器接受计量标准物质的量值传递，校准仪器的测量误差，确保量值准确可靠。纳米计量领域的计量标准装置有：①用于台阶高度和栅格间距计量的纳米几何结构标准装置、毫米级纳米几何结构样板校准装置；②用于线宽计量的计量型扫描电子显微镜标准装置、计量型紫外光学标准装置、计量型双探针原子显微镜标准装置；③用于纳米薄膜厚度计量的掠入射X射线反射法纳米尺度膜厚校准装置；④用于纳米颗粒粒径计量的纳米颗粒粒径校准装置；⑤用于纳米材料计量的激光共聚焦拉曼光谱标准装置；⑥用于纳米尺度测量仪器校准的扫描探针显微镜校准装置、扫描电子显微镜校准装置、高分辨光学显微镜校准装置等。