光学检测(optical testing),工学-光学工程-材料与器件-光学设计与加工-光学检测,为保证光学元件或系统在实际使用中的成像质量,光学元件或系统在投入使用之前,先对其进行确认元件或系统的制造精度是否满足设计指标要求的检测方法。在光学制造过程中,光学检测比光学加工更重要。光学检测能成功完成整个光学系统制造的基础是对于不同的加工阶段都需要有相应的检测技术来指导光学元件加工方向,并能够精确地检测出光学元件的面形质量以及光学系统的成像质量。光学检测分为对单镜的检测和对整个光学系统的检测。检测方法可分为面形检测、轮廓检测、干涉检测和计算全息法等。单镜的检测方法包括扫描式轮廓测量法、零位补偿法、计算全息法、子孔径拼接、哈特曼法等。①扫描式轮廓测量法,通过仪器对光学元件表面进行逐点扫描,得到待测件表面各测量点高度分布信息的方法。传统的轮廓测量技术主要有三坐标式轮廓测量,它对于中小口径的元件面形测量较为适用,对于大口径光学元件,主要采用摆臂式轮廓测量。