纳米阵列（nanoarray），工学-材料科学与工程-纳米材料，将纳米结构的物质单元按照一定的规则排列形成的结构。纳米颗粒和人造原子、纳米线、纳米棒、纳米环、纳米管及纳米尺度的通道和孔洞等都可以作为纳米结构的物质单元。纳米阵列的制备方法可分为：①模板合成法，一项集成了物理、化学等多种方法的技术，是制备纳米阵列材料的重要方法。常用的模板组装纳米阵列方法包括气相法、无电沉积法、化学聚合法、溶胶-凝胶法、电沉积法。模板合成法制备纳米阵列可以更加自由地调节纳米阵列体系的性质，为设计多功能的纳米器件提供了保证。模板包括氧化铝模板、高分子模板、金属模板及其他多孔模板材料。②非模板法，通用性较模板法差，在组装成分、结构相对复杂的纳米阵列时，工艺难度更大。纳米阵列的重要性体现在以下两方面：一是纳米阵列体现了在纳米尺度上大规模制备纳米结构单元的精巧和难度；二是纳米阵列结构可作为纳米结构器件设计和应用的基础。