内吸除

（工学 | 材料科学与工程）

内吸除（internal gettering），工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-[半导体材料制备]-半导体晶片加工-半导体单晶片吸除技术，由硅体内氧沉淀及其诱生缺陷产生的吸除作用。见单晶片吸除技术。