微系统技术，简称MST，它的基本工艺技术是硅的腐蚀和键合。MST的前景是壮观的，其工艺是从集成电路加工派生出的批量加工技术。预期，MST将会同集成电路一样，通过新的而且便宜的产品来改变人们的生活。MST的潜在应用包括汽车里的压力传感器和加速度计，也包括流量传感器、温度传感器、力传感器、位置传感器、磁场传感器、化学传感器、光传感器、红外辐射产传感器等，MST不但便宜，而且具有独特的性能。我们认为，下一代的器件将使用微泵、流量传感器、微混合器、微筛、微反应器等，在医药、过程控制、化学分析等领域应用在生物、化学和生化分析系统中。再向未来做进一步展望，微型机器人将应用在电荷耦合器件（CCD）照相机中，对CCD芯片的位置做主动的优化；也可以应用在CD设置中，用来定位光学元件；还可以帮助外科医生做手术；可以维修其它微系统；微机器人能够在超净间执行操作和检修任务。以上列出了最近几十年内MST的一些可能应用，有许多可能没有列出，因为MST的发展在很大程度上具有不可预料性。