狭缝被光源发出的光线照射后，通过物镜发出一束光带以倾斜45°方向照射在被测量的表面。具有齿状的不平表面，被光亮的具有平直边缘的狭缝像的亮带照射后，表面的波峰在S点产生反射。编辑本段概述光切显微镜原理光切显微镜仪器是采用光切法测量被测表面的微观平面幅度 ，其工作原理，如下所示。产生反射波谷在S′点产生反射，通过观测显微镜的物镜，它们各成像在分划板的a和a′点。在目镜中观察到的即为具有与被测表面一样的齿状亮带，通过目镜的分划板与测微器测出a点至a′点之间的距离N，被测表面的微观平面度h即可得出。编辑本段内容光切法显微镜使用方法(一)光切法显微镜可用测微目镜测出表面平面度平均高度值RZ，按国家标准，平面度平均高度值RZ与表面粗糙度级别的关系如表2所示。表 2平面度平均高度值RZ/um相当于原精度等级50-100325-50412.5-2556.3-12.566.373.281.69在测量时，所