微光学(micro-optiCS)是20世纪90年代的产物，其中包括微米尺度的光学表面微结构，其在日本称为微小光学。微小光学是广义上的微光学，不是物理意义上的微光学。自从微电子学的微细加工技术发展以来，在光学这个学科上就产生了微光学这个前沿学科分支。因此，微光学是一个知识密集、前沿和技术先进的新的光学学科分支，被誉为光学新技术，代表着光学领域的科学前沿。微光学是一门属于多门前沿学科交叉领域的新兴科学，是光学与微电子学和其他科学相互渗透、交叉而形成的前沿学科。光学仪器的微型化及微系统工程的开发迫切要求系统结构及光学元件的微型化，从而推动了微光学的发展，而电子技术又为微光学的发展创造了条件。微光学