简介：曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备组成机构： UV灯构造 带托盘的晶片工作台 配CCD镜头的显微镜 监视器 掩膜夹具 UV灯透镜 UV灯镜片 UV灯电源系统 操作控制器 350W UV灯 晶片台 基底尺寸 标准尺寸 最大至4英寸；可选最大至6英寸； 托盘 标准尺寸 最大至4英寸；可选最大至6英寸； 活动范围：X：10基本内容 组成机构： UV灯构造 带托盘的晶片工作台 配CCD镜头的显微镜 监视器 掩膜夹具 UV灯透镜 UV灯镜片 UV灯电源系统 操作控制器 350W UV灯 晶片台 基底尺寸 标准尺寸 大至4英寸；可选大至6英寸； 托盘 标准尺寸 大至4英寸；可选大至6英寸； 活动范围：X：10mm Y： 10mm Z ： 10mm Theta： 4 degree 挤入补偿 Air bearing型 Z轴滑动 手动 真空泵 无油真空泵 掩膜台 掩膜夹具类型 真空吸附和机械夹取 均匀光束大小 4.25“ X 4.25“ 支持接近式曝光，各种接触式（真空接触、软接触、硬接触等）曝光 接触式曝光特征尺寸： 0.35 um@深紫外DUV： 0.5um@近紫外NUV； 0.6um@紫外UV； 接近式曝光特征尺寸： 1um @ Gap为20 um； 2um @ Gap为50 um；