离子显微镜

E.W.弥勒于1951年发明的一种分辨率极高(2~3┱)、能直接用于观察金属表面原子的分析装置，简称FIM。FIM(Field Ion Microscope)是最早达到原子分辨率，也就是最早能看得到原子尺度的显微镜。