电子显微镜粒度测量（electron microscope particle size measurement），工学-工程热物理及动力工程-工程热物理-燃烧学-燃烧诊断-颗粒测量-粒度测量-光学法粒度测量，利用电子显微镜法对超细颗粒的粒度进行测量的方法。电子显微镜法具有放大倍数大（从10倍～10万倍或更大）、焦距深（为普通光学显微镜的300倍）以及功能多等优点。小于0.8微米的颗粒必须用电子显微镜观察。在用电子显微镜对超细颗粒的形貌进行观察时，由于颗粒间普遍存在范德华力和库仑力，颗粒极易形成球团，给颗粒粒度测量带来困难，需要选用分散剂或适当的操作方法对颗粒进行分散。采用的仪器主要有扫描电子显微镜和透射电子显微镜。扫描电子显微镜其测量方法与光学显微镜有所差别，采用微孔滤膜将试样中的颗粒过滤并全部收集制成膜片后，放入扫描电子显微镜的真空样品仓中，通过接收、放大、转换并显示电子枪发出的各种物理信息，完成试样的粒度分析，常用于观察大小在0.02～100微米范围的颗粒。透射电子显微镜是以波长极短的电子波作为照明，用电磁透镜聚焦成像，常用于直接观察大小在0.001～5微米范围的颗粒。