视频平整度分析装置（video flatness analysis device），工学-仪器科学与技术-工业自动仪表及控制系统-工业自动化仪表-视频平整度分析装置，采用光学方法（视频）测量物体表面特征的装置。如晶圆、蓝宝石、碳化硅、硅、玻璃等材质的外形尺寸等表面特征。在无需任何接触的情况下，用视频方法测量厚度、弯曲度、平整度等，得到被检测产品的外观尺寸数据，同时给出结构尺寸是否合格结果，可在线和离线测量。具有非接触测量、无需校准、高精度、高重复性等特点。视频平整度分析装置可以测量厚度、翘曲度、弯曲度、平坦度等，是无接触测量、无需校准的，具有高精度、高重复性，具有强大的分析软件，可显示3D表面形貌，同时进行各种参数的测量，具备超高的测试速度。激光线测量通常基于二极管激光器，并带有产生光学器件的线。产生线的光学器件将激光散布成一维，以形成光扇。可以使用折射光学器件来增强强度。如果表面不平坦，则激光线有弯曲。为了自动更精确地获得形状，可使用2D矩阵相机观察激光线，然后将线条投影到整个图像的摄像机图像中，并且软件可以检测图片中每一列的线条。